绿色厂务分会

UPW系统创新低碳运维及行业发展趋势分析

祁昕 科长 京东方环境能源科技有限公司

报告摘要：京东方环境能源科技有限公司为京东方全资子公司，聚焦设施服务、综合能源服务、环保服务。目前，UPW用量约55万吨/天 ，回收率（回收水系统产水量/UPW用量）为76~91%，产水率（UPW用量/生产用市政水量）为 502%。采用5套废水处理系统（HF系统、PW系统、Solvent系统、CF系统、A/A系统），4套回收水系统（低TOC系统、高TOC系统、氟回收系统、集成双膜系统 ）。分析了不同行业（硅片/半导体 、液晶面板 、光伏/电池 ）的纯废水系统异同。最后提出行业发展趋势：1）RO膜、树脂等系统核心材料设备逐步国产化；2）传统自动化转向IoT智能化控制，增强感知与控制，实现智能辅助决策；3）更加注重低碳技术与装备，资源化利用回收受热捧。

《电子工业水污染防治可行技术指南》解读

赵丽娜 副研究员 生态环境部环境标准研究所

报告摘要：《电子工业水污染防治可行技术指南》即将发布，为便于电子工业企业和其他相关单位更好地理解和使用该标准，从指南编制任务来源、总体考虑及工作过程、行业概况及产排污特点、标准制定情况等4方面对其内容进行解读。指南适用范围涵盖电子专用材料、电子元件、印制电路板、半导体器件、显示器件及光电子器件、电子终端产品、其他电子设备制造、电子工业园区等，衔接了GB 39731和HJ 1031，更全面。

海诺威中压和低压Super TOC紫外技术在UPW中应用

John Ryan董事长 乐富意得（上海）流体技术有限公司

报告摘要：UPW中TOC除了目标值是确定的，其他均不确定；将所有技术手段进行科学组合是必要的，UV是工艺中唯一改变TOC存在形式的技术，中压多谱段UV通过光化学分解和羟基自由基两种途径去除TOC，其为立体反应系统；低压UV通过羟基自由基去除，其为表面反应系统。两种UV系统的联合使用可充分发挥其各自的技术特点，提高UPW系统应对TOC变化的安全性，并同时减少UV系统的灯管总量和系统占地空间，达到降低系统投资运行成本和维护工作量目的。百年英国海诺威Super TOC技术应用其中压和低压紫外线系统，在同等条件下灯管数量减少50%以上，长期服务于英特尔、格罗方德等高端芯片企业。

双碳背景下零碳无废工厂实施路径及案例分析

薛世伟  中国建筑双碳战略研究院副院长中建碳科技有限公司总经理  中建生态环境集团有限公司

报告摘要: 针对双碳政策背景下，结合零碳无废工厂相关政策背景、评价标准、痛点分析等内容，从能源供给、智慧管理、零废排及碳交易等零碳无废工厂实施路径进行阐述，并对典型零碳无废工厂实例进行分享。实现零碳无废工厂绿色低碳，可以采用碳托管投资模式，原则上工业企业不需要投资，工业企业还可以在节约部分进行分成，实现双赢目标。

杜邦水处理微电子多元技术解决方案

杨志斌 杜邦水处理解决方案事业部  资深技术经理  杜邦水处理

报告摘要:杜邦水处理服务于电子行业超过30年，杜邦水处理紧跟微电子市场需求，不断推陈出新，众多创新产品为微电子超纯水、废水回用和资源回收等系统的系统升级，提标降耗提供了可靠的解决方案。介绍了研磨废水处理回用-IntegraFlux XP & Dizzer XL1.5，TMAH废水资源化回收-Amberlite高交换容量阳树脂，微电子行业有机废水回用- Memcor™& Mempluse™ MBR，微电子行业有机废水处理-MABR，废水处理的终极解决方案-零排放。

创新特种膜技术助力硅基新材料生产废水零排放

沈斌 技术总监  杭州碟滤膜技术有限公司

报告摘要：硅基新材料在电子信息、新能源、节能环保等战略性新兴产业中扮演着重要的角色。然而，硅基新材料的生产过程中会产生大量废水，对环境造成了严重污染。因此，如何实现硅基新材料生产废水零排放成为了当前亟需解决的难题。为了解决这一问题，创新特种膜技术应运而生。CTUF产品除氟除硅预处理技术是其中的一种高效技术。该技术通过使用特殊膜对废水进行预处理，能够有效地去除其中的氟和硅等有害物质，并达到零排放的目标。另外，高压STRO膜技术也被广泛应用于硅基新材料废水处理

绿色工厂“氟”的理想化处理路径

罗嘉豪 技术研究院副院长 江苏中电创新环境科技有限公司

报告摘要：根据双碳、氟化物管制趋势与固废处置等相关政策，分析当前电子企业氟污染物处理工艺的不足和衍生的问题，针对性提出绿色工厂“氟的”理想化处理路径，对关键技术进行分析，讨论实现该理想化路径需要面临的挑战和解决思路。

精密仪器如何解决半导体厂务中的难题

马珺瑛 半导体行业专家 梅特勒托利多科技（中国）有限公司

报告摘要：特勒托利多为半导体制造提供精密在线仪器、实验室仪器与衡器，可运用于超纯水、化学品检测分析与配液，并为先进半导体制造持续投入研发，目前独家提供精度为±0.5%的超纯水电阻率。

光伏电池工厂废水处理及其资源利用技术分享及思考

吴德勇 南京分院副院长 环保事业部总经理 信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司

报告摘要：针对光伏电池工厂的废水特点、产污环节、主要原辅料、废水种类及成分等介绍了光伏电池工厂废水系统处理工艺。介绍了浓碱废水、稀酸稀碱废水的资源化利用技术。最后对氨氮废水处理及资源化利用、浓氟废水处理及资源化利用的进行了思考与展望

设计在高科技工厂绿色水务系统建构中的实践与探索

谭佳卿  副总设备师  世源科技工程有限公司

报告摘要：世源科技工程有限公司（SYC）以新型显示、半导体为代表的先进制造业、大数据产业、生物医药及健康产业为基础，致力开展水处理、废气处理等节能环保产业，以及电子化学品、特气等精细化工产业等。党的十九大报告中提出“建立健全绿色低碳循环发展的经济体系”为新时代下高质量发展指明了方向。高科技工厂水务系统以纯废水系统为核心，往往由几十个子系统组成，这些系统相对独立又彼此紧密联系。设计必须站在全厂的总体高度上，在充分考虑各系统的水量、能量、物料平衡后，将这些系统组合形为有机的整体，一座工厂的水务系统才基本搭建完成。

电子行业纯废水系统低碳设计“痛点与思考”

谭立国  电子工程设计院给排水总工  中国电子系统工程第四建设有限公司

报告摘要：首先分析电子行业纯水设计存在的痛点，主要有环评报告的精确性，直接影响到后期的设计参数选取；业主方的UM表数据不全面、或存在不精准等现象；设计院工艺专业的不具备专业性；管路设计缺少优化环节；方案比选缺少模拟环节等。其次分析电子行业纯水施工安装及运维存在的痛点：BIM三维设计指导施工安装的局限性；缺少数字化模拟&管控环节；TOC不达标。然后指出电子行业“废水零排放”技术难点及待解决的问题，最后针对电子行业纯废水工程领域，分析节能减排策略，并提出展望。

半导体制造行业水资源可持续利用关键技术

巫寅虎 副研究员 清华大学

报告摘要：半导体行业在国家发展战略中发挥核心作用。超纯水是半导体行业的基础性生产原料。首先系统分析半导体制造行业的水资源消耗情况，其次基于半导体行业的水循环利用现状，以及半导体行业水资源管理目标，提出半导体行业水资源循环利用策略，最后探讨行业废水循环利用关键技术，主要包括半导体行业废水再生处理工艺，半导体行业废水膜污堵特性评价与控制，反渗透产水痕量有机物解析与深度净化等。

能降低膜污染的超纯水预处理工艺技术

周密 技术总监 珠海九通水务股份有限公司

报告摘要：基于常规超纯水制备工艺流程遇到的问题，分析开发超纯水高效节能预处理工艺技术及应用是迫切需求，并提出能降低膜污染的超纯水预处理工艺技术路线。在超纯水制备中提出水平管沉淀分离技术，其具有无运转设备，无需添加微砂、磁粉等，抗冲击负荷能力强，调试周期短，耐腐蚀性强等技术优势；催化氧化平板陶瓷膜能够同时实现过滤和催化氧化功能，具有更细的截污能更力，可以高效地去除水中的有机污染物、细菌和病毒等物质，同时能节约大量的能源，降低运行成本。

集成电路材料产业园电子废水处理设计与运行探讨

张万里 市政环境院院长  华昕设计集团有限公司

报告摘要：首先分析集成电路材料产业园电子废水特征因子，主要介绍了典型集成电路项目废水污染物来源和典型集成电路项目尾水水质特征。其次，以宜兴经济开发区集成电路材料产业园配套的宜兴工业污水处理厂为例，探讨分享工艺流程的确定。然后，介绍高保障性设计及相关设备选型优化。最后，分析调试试运行过程中存在的问题，并提出解决措施。

印制电路板工厂废水处理

王稳重 执行总设备师 奥意建筑工程设计有限公司

报告摘要：印制电路板是重要的电子部件，是电子元器件的支撑体，属于电子元器件行业。首先介绍了印制电路板典型工艺流程及产污环节，其次介绍印制电路板工厂生产废水的分类，包括一般清洗废水、低浓有机废水、 含镍废水、含银废水、含氰废水等，然后详细分析了废水回收处理流程和达标处理的工艺，最后介绍了废水站平面布置等。

太阳能TOPCON电池废水处理工艺

李小华 环保事业部总经理 中国电子系统工程第三建设有限公司

报告摘要：本项目为光伏太阳能电池6GW（TOPCon工艺）废水处理。废水的特征有可生化性低、废水水量少、氟离子浓度高、腐蚀性强、浓酸浓碱浓度高等难点。针对此项目的废水通过分质收集、互调pH、分质处理的方式进行方案设计。将废水主要分为含氟废水和含氮废水，含氟废水分质收集后酸碱废水互调pH，加药进行混凝、絮凝沉淀，达标后排放；含氮废水收集后先去除浓氮废水中的氟离子，后续通过生化工艺处理达标后排放。以上方案具有节省药剂费降低运营成本、项目运行稳定、节省占地空间、施工速度快等优势。